MEMS je skraćenica od mikro-motornog sustava. Individualna minijaturizacija gotovog proizvoda je na razini milimetara ili čak mikrona. Široko se koristi u 5G komunikacijama, sigurnosnom nadzoru, industrijskoj automatizaciji, automobilskoj elektronici i drugim poljima. U ovoj fazi, može se reći da se gotovo svi elektronički proizvodi primjenjuju na MEMS.
Prednosti MEMS uređaja: mala veličina, mala težina, laka integracija, niska potrošnja energije, visoka osjetljivost i mnoge druge prednosti. I može se masovno proizvoditi. Iako se može masovno proizvoditi, MEMS pakiranje nije univerzalno. Prema različitim funkcionalnim tipovima MEMS komponenti, struktura komponenti i metode pakiranja su različite, a namjenski tip je viši.
U ovoj se fazi obično koristi tehnologija montaže na razini čipa. Naravno, postoje prilično strogi zahtjevi za točnost montaže, radno okruženje i metode poravnanja.
Poteškoće montaže na razini MEMS čipa
1. Visok standard preciznosti pakiranja
Softver MEMS sustava uključuje jedinstveno sučelje podatkovnog signala, kućište, unutarnju stijenku i druge strukture, koje otežavaju kontrolu položaja i kuta tijekom odabira i postavljanja tijekom cijelog procesa žičanog spajanja MEMS komponenti i multifunkcionalnih podloga.
2. Materijal je krhak i lako se lomi
MEMS uređaji, kao što su mikro-akcelerometri, mikro-motori, itd., općenito imaju ugrađene mehaničke strukture kao što su šupljine ili konzole. Ove strukture su male veličine i imaju mnogo manju mehaničku čvrstoću od IC čipova. Vrlo su osjetljivi na fizički kontakt tijekom montaže i drugih procesa.
Mnogi dijelovi MEMS uređaja nisu samo male veličine, već su i lomljivi i lomljivi, kao što su duboki žljebovi i sektori, pa je radni pritisak koji se primjenjuje tijekom lijepljenja vrlo važan. Ako je radni tlak premali, spoj neće biti blizu; ako je radni tlak previsok, komponente će se oštetiti.
Može se vidjeti da su točne razine točnosti i amplitude vezivanja nužni uvjeti za poboljšanje brzine prolaznosti MEMS instalacije radiofrekventnog primopredajnika.
Kada je debljina MEMS uređaja između 50-150μm, odabrani radni tlak za spajanje žice je između 50-100g, a rotacijski pomak trebao bi biti manji od 0,3°, tako da se oštećenja komponenti mogu u velikoj mjeri smanjiti , a usklađenost se može poboljšati. Stopa.
Visoko precizno poravnanje, tip zakrpa, kako bi se osigurala brzina prolaza
Povratna informacija na razini mikrona za dobivanje točnih podataka, preciznost kontrole sile ±0,01N, razina točnosti linearne ponovljivosti ±2μm, razina točnosti ponovljivosti ±0,01°rotacije, radijalni otklon manji od 10μm, specifikacija razlučivosti kodera 1μm, dostupno u stabilnom izlazu čak i pod visokim -brzina rada, poboljšanje stope kvalifikacija i stabilnosti.
Vakuumsko usisavanje, kontrolirani radni tlak, smanjenje potrošnje
Guoao linearni rotacijski motor prihvaća dizajn šuplje Z-osi, rezerviranu dušničku utičnicu, vakuumsko usisavanje, plug and play, i može pružiti prilagođene usluge na temelju strukture i karakteristika komponenti;
Sadrži"meko slijetanje" funkcija, koja može dovršiti stabilnu kontrolu sile unutar ±1,5 g i može prilagoditi parametre kao što su brzina, ubrzanje i kontrola sile, tako da glava za postavljanje može dodirnuti MEMS komponente s vrlo preciznim radnim tlakom, smanjujući iscrpljivanje.
& quot;Z+R" Integrirani dizajn osi za povećanje brzine
Inovativno integrirano rješenje s dvije osi kombinira tradicionalni"servo motor + kuglični vijak" u jedan, koji se može dobro nositi s problemom opterećenja vlastite težine Z-osi, i kompletnu komponentu Pick& Mjesto, postavljanje i druge radnje velikom brzinom i preciznošću. Potisak Krivulja je glatka, vršni potisak je 8-50N, efektivni hod je 10-50 mm, a ultra-visoki vijek trajanja omogućuje učinkovitu proizvodnju.
